濺射鍍膜機技術配置介紹
2018-01-19 來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:1217
CCZK-SF磁控濺射鍍膜機,具備成膜速率高,基片溫度低,膜的粘附性好,可實現大面積鍍膜相對于傳統蒸發鍍膜設備,磁控濺射鍍膜可獲得更為優秀的膜層致密性,均勻性和結合力采用最為先進的直流或中頻磁控濺射電源,滿足不同層次客戶需求
腔體結構: 立式前開門,臥式前開門。
材質用料:腔體材質為SUS304不銹鋼或碳鋼
真空系統: 擴散泵(可選分子泵)+羅茨泵+機械泵+維持泵(另有深冷泵系統可供選擇)
濺射靶材: 中心圓柱靶,平面靶,孿生靶等
磁控電源: 可配備直流或中頻磁控濺射電源
轉動系統: 變頻調速,公自轉結合,可根據客戶產品和要求設計
膜層結構: 單層膜、多層膜
氣體控制: 氣體流量控制儀集成觸控操作控制
人機界面: PLC智能控制+HMI觸摸屏
操作方式: 邏輯全自動方式、半自動方式、手動方式
智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面,實現全自動控制
報警及保護:異常情況進行報警,并執行相應保護措施。