通過加熱蒸(zheng)發(fa)某種(zhong)物(wu)質使其沉積(ji)在固(gu)體表(biao)面(mian)，稱(cheng)為蒸(zheng)發(fa)鍍膜(mo)(mo)。蒸(zheng)發(fa)鍍膜(mo)(mo)與其他真空(kong)鍍膜(mo)(mo)方法相(xiang)比，具有較(jiao)高的(de)沉積(ji)速率，可鍍制單質和不易熱分解的(de)化(hua)合物(wu)膜(mo)(mo)。用(yong)作(zuo)真空(kong)蒸(zheng)發(fa)鍍的(de)裝置(zhi)稱(cheng)為。

　　蒸(zheng)(zheng)發(fa)物質的(de)原子或分(fen)子以冷凝方式沉積在基片表面。蒸(zheng)(zheng)發(fa)式鍍(du)(du)膜(mo)機常(chang)用(yong)蒸(zheng)(zheng)發(fa)源(yuan)是(shi)用(yong)來(lai)加(jia)熱(re)(re)膜(mo)材使之(zhi)汽化蒸(zheng)(zheng)發(fa)的(de)裝置(zhi)。真(zhen)空室是(shi)放置(zhi)鍍(du)(du)件、進行鍍(du)(du)膜(mo)的(de)場所(suo)，直徑一般為(wei)400~700mm，高400~800mm，用(yong)不銹鋼(gang)制作，有(you)水冷卻裝置(zhi)。待系統(tong)抽至高真(zhen)空后，加(jia)熱(re)(re)坩堝使其中(zhong)的(de)物質蒸(zheng)(zheng)發(fa)。蒸(zheng)(zheng)發(fa)系統(tong)包括蒸(zheng)(zheng)發(fa)源(yuan)和加(jia)熱(re)(re)蒸(zheng)(zheng)發(fa)源(yuan)的(de)電氣設備。