如果是的擴散泵經常返油可能是以下問題：

　　1、冷卻水路不通暢或水壓不夠，導致冷卻能力下降，擴散泵上半部分變熱，油蒸汽不能良好液化。

　　解決辦法：將擴散泵進水管接以4mpa的氣源，吹出水垢，接出水管同樣以4mpa吹。若水垢結的很多并且牢固，可通入稀鹽酸。或者更換擴散泵。

　　2、加熱溫度過高，由于擴散泵加熱器功率與額定功率不符，過高，造成蒸汽量大，可造成返油，更換電爐絲可解決。

　　3、加油量過高，加油量高容易導致蒸汽量循環緩慢，向下級壓縮時滯留，造成返油，根據廠家提供信息進行加油量的控制可避免。

　　4、油氧化，擴散泵油氧化后，粘稠度和蒸汽流都受到影響，達不到噴射速度，自然就返到真空室內。

　　解決辦法：可將擴散泵拆下，將泵心取出，用120#汽油進行清洗，然后打磨，將結碳和黑色氧化層打磨掉，再次用120#汽油清洗、晾干，然后安裝，倒入擴散泵油或硅油，加熱幾次以后才可以投入工作。防止污染工件。

　　5、若擴散泵服役時間超過8-10年，或在惡劣的環境下使用，可考慮更換，提高工作效率及維護成本。