當出現故障后應首先要向使用者了解故障的現象，然后要親自開機觀察故障，這樣才能更準確、更快、更合理的排除故障。

　　首先排除故障應先檢測低真空是否正常(機械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發室)，低真空正常后再開主泵，主泵工作正常后檢測下室真空中是否正常，下室真空正常再開高閥進行高真空檢測檢漏，直至達到工作真空，極限真空、保真空、恢復真空，如極限真空和保真空正常，而恢復真空和工作真空不正常則可能主泵有問題。

　　以下列舉常見故障及維修方法：

　　1、蒸發源水路膠圈損環(更換膠圈)

　　2、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　3、工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　4、機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)

　　5、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　6、擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　7、玻璃觀察視鏡出現裂紋、炸裂(更換玻璃)