依據技術請求挑選鍍制方法及方法，如電阻蒸騰(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材原料及尺度多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等)，真空丈量可挑選數字式智能真空計及其優異的丈量規管，及其它丈量儀器，如主動壓強操控儀等。膜厚丈量可選用方塊電阻丈量儀，透過率計等。充氣方法可選用質量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門，并可挑選多路充氣管路及相應流量參數。

　　真空鍍鈦廠家依據需烘烤的構造提出烘烤溫度、原料以及所需裝備相應儀表丈量。真空鍍鈦廠家依據設備使用特色，可挑選手動、半主動、全主動或其組合的操控方法。完善的報警體系，對真空室體、分散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警