在使用很長時間以后，如果不去維護就會導致工作效率低下，鍍膜質量變差，機械里面的抽速就會變慢，如果不及時清洗，后果很嚴重，首先我們要沖入大氣，拆掉鏈接的水管，要把泵腔和泵膽都好好的清洗一遍，再用清洗劑清洗一遍，最后用冷水清洗干凈，晾干以后，重新加入泵油，然后裝好所有的設備，重新開機使用就可以了!

　　在清洗以后重新開機要注意，要注意檢查一下漏油的事情，啟動好維持泵，關好大門，過一段時間以后，看看擴散泵是否達到真空泵6*10帕，如果沒有就要重新檢漏，還要檢查，連接處有沒有密封的膠圈，排除漏氣隱患以后，就可以加熱了，要不然會導致擴散泵燒壞，沒辦法正常工作!

　　其實，我們不僅僅要清洗真空鍍膜機，還要清洗真空室，清洗真空室可以使用用燒堿飽和溶液反復擦洗真空室內壁，( 注意安全不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁與燒堿發生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢，這樣清洗以后，真空室就會特別干凈了。