實(shi)驗室(shi)用小型蒸(zheng)發鍍(du)膜機(ji)

　　用作真空(kong)蒸(zheng)(zheng)發鍍的(de)裝(zhuang)置(zhi)稱為蒸(zheng)(zheng)發鍍膜(mo)機(ji)。蒸(zheng)(zheng)發鍍膜(mo)機(ji)主(zhu)要由(you)真空(kong)室、排氣(qi)系統、蒸(zheng)(zheng)發系統和電氣(qi)設備四部分組成。

　　真空室(shi)是放置(zhi)鍍件、進行鍍膜的場所，直(zhi)徑一般為400~700mm，高(gao)400~800mm，用(yong)不銹鋼(gang)或碳鋼(gang)制作，有(you)水冷卻(que)裝置(zhi)。

　　真(zhen)空中制(zhi)備膜(mo)層(ceng)可防止膜(mo)料和鍍(du)件表(biao)面的(de)(de)污染，消除空間碰撞(zhuang)，提高鍍(du)層(ceng)的(de)(de)致密性和可制(zhi)備單(dan)一化合物的(de)(de)特(te)殊功(gong)能(neng)的(de)(de)鍍(du)層(ceng)。

　　為了提(ti)高鍍(du)層厚度的均勻(yun)性，真空室(shi)內的鍍(du)件(jian)夾具有行星機構(gou)或自轉加公轉的運(yun)動(dong)裝(zhuang)置，如用(yong)行星運(yun)動(dong)方(fang)(fang)式(shi)，這種運(yun)動(dong)方(fang)(fang)式(shi)成膜均勻(yun)性好，臺階覆蓋性能良好，鍍(du)件(jian)裝(zhuang)載量(liang)大，可以充分利(li)用(yong)真空鍍(du)膜室(shi)的有效空間，是(shi)目前經常采用(yong)的運(yun)動(dong)方(fang)(fang)式(shi)。

　　排氣(qi)系(xi)統一般由機械泵、擴(kuo)散泵、管道和(he)閥(fa)門組(zu)成。為(wei)了提高抽氣(qi)速率，可在(zai)機械泵和(he)擴(kuo)散泵之間加(jia)機械增壓泵。因此(ci)，排氣(qi)系(xi)統既要求(qiu)在(zai)較短的時間內獲(huo)得(de)低氣(qi)壓以保(bao)證快速的工(gong)作(zuo)循環(huan)，也要求(qiu)確保(bao)在(zai)蒸氣(qi)鍍膜時迅速排除從蒸發源(yuan)和(he)工(gong)作(zuo)物(wu)表面(mian)所(suo)產生(sheng)的氣(qi)體。

　　蒸(zheng)發(fa)系(xi)統包(bao)括蒸(zheng)發(fa)源(yuan)和(he)加熱蒸(zheng)發(fa)源(yuan)的(de)電氣設備(bei)。電氣設備(bei)包(bao)括測量(liang)真空和(he)膜層厚度及(ji)控制臺等。