是一種物理氣相沉積技術，通常在低氣壓氣體放電等離子體環境中進行，也稱為離子氣相沉積。離子鍍不僅可以鍍單單一金屬和合金，而且還可以獲得電鍍和化學鍍所不能得到的金屬與非金屬化合物鍍層。此鍍層的硬度和耐磨性極高，若用于刀具，可以大幅度提高刀具的切削速度和使用壽命，還可以改善切削過程，提高加工精度。

　　在一般情況下離子鍍的鍍層很薄，所以常將離子鍍的鍍層稱為鍍膜。更重要的是，真空蒸鍍和濺射鍍膜傳統的蒸鍍以及濺射鍍膜都主要利用中性粒子成膜，在膜層粒子到達基片時的速度較低，因而會產生諸如沉積速率低、膜層附著力差、膜層不致密等問題，而離子鍍可以很好解決上述問題。

　　離子鍍一應廣泛應用于各行業沉積各種功能的鍍層，許多甚至已經進入工業規模。期初離子鍍金膜或銀膜解決了滾珠軸承的潤滑問題，后來逐漸發揮在那位防腐膜、超硬膜等。離子鍍TiN膜后呈現金黃色，已經被運用于鐘表零件、文化用品、餐具等方面，不僅外觀美麗，而且耐腐蝕耐熱。