淺析真空鍍膜機的原理

　　真空鍍膜機是目前制作真空條件應用為廣泛的真空設備(bei)，一般(ban)用真空室、真空機組(zu)、電(dian)氣控制柜三大(da)工作(zuo)原(yuan)理(li)。

　　真(zhen)空(kong)主題--真(zhen)空(kong)腔(qiang)根(gen)據加工產品(pin)要(yao)求(qiu)(qiu)的(de)各異，真(zhen)空(kong)腔(qiang)的(de)大小也不(bu)一樣，目前應用多的(de)有直(zhi)徑(jing)0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔(qiang)體由(you)不(bu)銹(xiu)鋼(gang)材料(liao)制作(zuo)，要(yao)求(qiu)(qiu)不(bu)生銹(xiu)、堅實等，真(zhen)空(kong)腔(qiang)各部分有鏈接(jie)閥，用來鏈接(jie)各抽氣泵浦。

　　輔助抽氣(qi)系統(tong)：排氣(qi)系統(tong)為鍍膜(mo)機(ji)真空系統(tong)的重要部分，主(zhu)要有(you)由機(ji)械泵(beng)(beng)、增壓(ya)泵(beng)(beng)(主(zhu)要介(jie)紹羅茨泵(beng)(beng))、油擴散泵(beng)(beng)三大(da)部分組成(cheng)，此排氣(qi)系統(tong)采用“擴散泵(beng)(beng)+機(ji)械泵(beng)(beng)+羅茨泵(beng)(beng)+低溫冷(leng)阱(jing)+polycold組成(cheng)”。

　　排(pai)氣流程為：機械泵(beng)(beng)先(xian)將真空腔抽(chou)至(zhi)2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴(kuo)(kuo)散泵(beng)(beng)后(hou)續抽(chou)真空提(ti)供前提(ti)，之后(hou)當擴(kuo)(kuo)散泵(beng)(beng)抽(chou)真空的時候，機械泵(beng)(beng)又配合(he)油擴(kuo)(kuo)散泵(beng)(beng)組(zu)成串聯，已這樣的方式完(wan)成抽(chou)氣動(dong)作。