真空鍍膜機選購要點
2018-03-21 來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:1175
真空鍍膜設備選購要點分析
真空鍍膜設備選購要點分析如下：
1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。
2、根據工藝要求選擇不同規格及類型的鍍膜設備，其類型有電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。
3、夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式，用戶可根據基片尺寸及形狀提出相應要求，轉動的速度范圍及轉動精度：普通可調及變頻調速等。
4、真空系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。
5、根據工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等)，真空測量可選擇數字式智能真空計及其優質的測量規管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀，透過率計等。
6、充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。
7、根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。
8、根據設備使用特點，可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。
9、完善的報警系統，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。
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