小型高真空有機金屬

　　廣泛應用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發領域。

　　主要特點/優勢：

　　完全封閉的系統框架設計，外觀更漂亮，使用更安全;是一臺兼具美學和用戶操控體驗的全新升級產品;

　　前開門真空腔體，方便取放基片、更換蒸發舟、添加蒸發材料以及真空室的日常維護;

　　復合分子泵和直聯旋片泵，大抽速準無油真空系統(分子泵抽速≥400L/S);

　　兩組水冷式蒸發電極，可長時間穩定工作，兼容金屬材料與有機材料的蒸發源設計;

　　專業真空蒸發電源，數顯工作電流和電壓，恒流輸出;

　　可鍍110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;

　　襯底可選擇加熱或水冷，源基距≥300mm;

　　良好的薄膜均勻性和重復性，可在線監測和控制蒸發速率、膜厚;

　　可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機物材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;

　　設備集成度高，結構緊湊，占地面積小(0.92平米);設備配腳輪，方便移動和定位。