常見的維修辦法

　　當真空鍍膜機出現故障后應首先要向使用者了解故障的現象，之后要親自開機觀察故障，這樣才能更準確、更快、更合理的排除故障。

　　當真空鍍膜機排除故障應先檢測低真空是否正常(機械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發室)，低真空正常后再開主泵，主泵正常后檢測下室真空中是否正常，下室真空正常再開高閥進行高真空檢測檢漏，直至達到真空，極限真空、保真空、恢復真空，如極限真空和保真空正常，而恢復真空和真空不正常則可能主泵有問題。

　　以下列舉真空鍍膜機常見故障及維修方法：

　　一、當正在鍍膜時真空度突然下降

　　1、蒸發源水路膠圈損環(更換膠圈)

　　2、坩堝被打穿(更換坩堝)

　　3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　4、工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　5、預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)

　　6、高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)

　　7、機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否正常)

　　8、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈)

　　9、擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈)

　　10、玻璃觀察視鏡出現裂紋、炸裂(更換玻璃)

　　二、長期的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到真空、恢復真空、極限真空、保真空：

　　1、蒸發室有很多粉塵(應清冼)

　　2、擴散泵很久未換油(應清冼換油)

　　3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低(應清冼換油)

　　4、各動密封膠圈損壞(更換膠圈)

　　5、由于蒸發室長期溫度過高使其各密封膠圈老化(更換膠圈)

　　6、蒸發室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈)

　　7、各引入座螺釘、螺母有無松動現象(重新壓緊)

　　8、高低預閥是否密封可靠(注油)