電子槍安裝與維護：

　　一、電子槍安裝與維護

　　電子槍蒸發源控制系統是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅動電源、蒸發源等組成一個電子槍控制電樞。

　　電子槍控制電樞內含有高壓，在工作前必須保證柜門各個聯鎖裝置正常工作，非專業人員不得打開電樞門，電子槍在工作時不得打開電柜門，整個電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。

　　電子槍蒸發源安裝在真空室底板上，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發源必須使用不銹鋼螺絲來固定，周邊200mm以內不得有導磁的物體，否則會影響到電子槍的光斑成表，造成電子性能的不良。電子槍檔板應盡量裝在蒸發源坩堝的中心上30mm處，以不影響電子束的發射為好。

　　電子槍蒸發源是一個精密機械加工體，在工作時必須保證有良好的冷卻水，如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。

　　(一)電子槍頭

　　電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行，其發生的故障有90%同電子槍槍頭有關。

　　電子槍槍頭有使用一段時間后，會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率，需要拆卸清潔。

　　(二)坩堝的維護

　　拆坩堝之前，請先關掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內的水分盡可能吹干凈。

　　蒸發源裝卸順序：

　　1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩堝傳動連接座、聯軸器。4.擰落蒸發源四個固定螺絲。5.把蒸發源搬運到一個穩定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個螺絲，取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發源反轉過來倒置，用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉動四個螺絲10.抬起蒸發源，取下坩堝 11.把坩堝倒置，擰下坩堝底蓋的八個螺絲，清洗干凈里面的污垢，檢查是否需要近密封圈。12.擰下導水管的一個螺絲13.擰下坩堝轉動機構與坩堝蓋板連接的四個螺絲 14.撥出坩堝轉動軸，檢查轉動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。

　　(三)導磁板及掃描圈的維護

　　導磁板及永磁鐵是不需要經常拆卸維護，如需拆卸，請注意永磁鐵的極向，及導磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實，請不要使用硬尖的東西撬動，否則有可能會造成損壞。