光學鏡片鍍膜機鍍膜的膜層厚度如何測量?
2017-08-14 來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:1881
在使用鍍膜之后,為了需要可能會要測量膜層的厚度,測量膜層的厚度用什么方法呢?
最直接的鍍膜控制方法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅動蒸發源,通過PID控制循環驅動擋板,保持蒸發速率。
只要將儀器與系統控制軟件相連接,它就可以控制整個的鍍膜過程。但是(QCM)的精確度是有限的,部分原因是由于它監控的是被鍍膜的質量而不是其光學厚度。
此外雖然QCM在較低溫度下非常穩定,但溫度較高時,它會變得對溫度非常敏感。在長時間的加熱過程中,很難阻止傳感器跌入這個敏感區域,從而對膜層造成重大誤差。
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